理研計器|半導體工藝全流程之刻蝕工藝
發布時間：2023-06-14
每個半導體產品的制造都需要數百個工藝，我們將整個制造過程分為八個步驟：晶圓加工-氧化-光刻-刻蝕-薄膜沉積-外延生長-擴散-離子注入。
為幫助大家了解和認識半導體及相關工藝，我們將每期推送微信文章，為大家逐一介紹上述每個步驟。
最近在網上刷到一張圖↓ 師傅正在雕刻一塊玉石，如果把芯片比作一幅平面雕刻作品，那么光刻機是打草稿的畫筆，刻蝕機是雕刻刀，沉積的薄膜則是用來雕刻的基礎材料。
光刻的精度直接決定了電路的走向和尺寸，而刻蝕和薄膜沉積的精度則決定了光刻的尺寸能否實際加工，所以師傅用刀刻掉不用的部分，雕成想要的圖形，就跟芯片工藝流程中的刻蝕一樣。
今天主要為大家分享的是第4道工序--刻蝕工序，我們一起學習吧~
刻蝕是集成電路制造關鍵環節，復雜工藝構筑行業壁壘
刻蝕是雕刻芯片的精準手術刀